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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造(III)
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造(III)
Details
Primary Data
Project title
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造(III)
Internal ID
100-2221-E-002-056-
Principal Investigator
TIEN-TUNG CHUNG
Start Date
August 1, 2011
End Date
July 31, 2012
Partner Organizations
National Science and Technology Council