https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/65824
標題: | 光電式位移感測系統之設計開發 | 作者: | 黃光裕 | 關鍵字: | 位移感測系統;光電式;設計開發;特性測試;解析度;精度 | 公開日期: | 2004 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | 摘要: | 本計畫目的在於設計開發一個光電式位 移感測系統,位移解析度設定在μm 範圍,並 追求0.1μm 最高解析度,並且能夠量測靜態與 高速動態位移。首先根據所需之系統功能選用 光束直徑3 mm 之雷射光源,光束經由適當光 學元件之配置傳送到位移量測區域。被測物之 位移造成光強度與明暗區域的變化,透過光電 感測元件之量測進而產生電子類比訊號。為了 提昇位移量測之準確性與減少隨機雜訊之干 擾,研究中採用差動式量測方法,被測物位移 所造成光照區域的變化透過分光鏡傳送到兩 個光電元件上,並以此二光電元件之相減訊號 作為量測系統的輸出訊號。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15888 | 其他識別: | 922212E002040 | Rights: | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 |
顯示於: | 機械工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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922212E002040.pdf | 434.29 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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