https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/65850
標題: | 探針掃描式顯微鏡中探針控制法則之探討(1/3) | 作者: | 顏家鈺 | 關鍵字: | 原子力顯微鏡;系統識別;PID 控制器 | 公開日期: | 2004 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | 摘要: | 原子力顯微鏡(AFM)是目前達到原子級解析 度的重要量測工具之一,該系統利用保持探針與 試片間的固定接觸力以追蹤試片的表面形變;因 此,保持固定相互作用力的控制器在量測精度上 便扮演極重要的角色。本篇實驗報告針對經由系 統識別所建的控制系統來加以設計PID 控制器, 並且討論經由控制器後的實驗結果。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15914 | 其他識別: | 922213E002042 | Rights: | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 |
顯示於: | 機械工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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