https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/67342
標題: | On the interaction between measurement strategy and control performance in semiconductor manufacturing | 作者: | Su, An-Jhih Yu, Cheng-Ching Ogunnaike, Babatunde A. |
公開日期: | 2008 | 期: | 18 | 起(迄)頁: | 266-276 | 來源出版物: | Journal of Process Control | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/93223 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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