https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/67771
標題: | Interfacial reactions of rf-sputtered TiNi thin films on (100) silicon with a SiN diffusion barrier | 作者: | Wu, S.K. Su, J.J. Wang, J.Y. WuSK |
公開日期: | 2004 | 卷: | 84 | 期: | 12 | 起(迄)頁: | 1209-1218 | 來源出版物: | Philosophical Magazine A | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/86895 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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