https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/68270
標題: | A Study of the Characteristics of the Diamond Dresser in the CMP process | 作者: | Liao, Y.S. Hong, P.W. Yang, C.T. |
公開日期: | 2004 | 起(迄)頁: | 371-376 | 來源出版物: | Key Engineering Materials 257-258: | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/86984 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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