https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/68277
標題: | An alternatively efficient method (DBEM) for simulating the electrostatic field and levitating force of a MEMS combdrive | 作者: | Liao, Y.S. Chyuan, S.W. Chen, J.T. LiaoYS |
公開日期: | 2004 | 卷: | 14 | 期: | 8 | 起(迄)頁: | 1258-1269 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/86991 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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