https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/68438
標題: | Contorl Relevant Issues in Semiconductor Manufacyuring--Overview with Some New Results | 作者: | Su, An-Jhih Jeng, Jyh-Cheng Huang, Hsiao-Ping Yu, Cheng-Ching Hung, Shih-Yu Chao, Ching-Kong |
公開日期: | 十一月-2007 | 期: | 15 | 起(迄)頁: | 1268-1279 | 來源出版物: | Control Engineering Pratice | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/202500 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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