https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/69762
標題: | Novel Method for In-situ Monitoring of Thickness of Quartz during Wet Etching | 作者: | Lee, C. Y. Cheng, Y. C. Wu, T. T. Chen, Y. Y. Chen, W. J. Pao, S. Y. Chang, P. Z. Chen, Ping Hei |
公開日期: | 十月-2005 | 卷: | 44 | 期: | 10 | 起(迄)頁: | 7262-7264 | 來源出版物: | Japanese Journal of Applied Physics | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/200253 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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