發展電子束微影技術與聚焦離子束技術於製作三維微結構

Project title

發展電子束微影技術與聚焦離子束技術於製作三維微結構

Internal ID

102-2221-E-002-151-MY3

Principal Investigator

CHIEH-HSIUNG KUAN

Start Date

August 1, 2014

End Date

July 31, 2015

Partner Organizations

National Science and Technology Council