https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/75000
標題: | Characterizing Optical Constants of Thin Films for Vacuum Ultraviolet Lithography Applications | 作者: | Fan, Wonder Chen, Hsuen-Li Wu, Chi-Lung Chang-Liao, Kuei-Shu |
公開日期: | 2004 | 期: | 43 | 起(迄)頁: | 3684-3688 | 來源出版物: | Japanese Journal of Applied Physics | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/95611 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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