https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/75934
標題: | Measurements of residual stresses in Al film/silicon nitride substrate microcantilever beam systems | 作者: | Lin, Chiao-Chi Fang, Weileun Lin, Hung-Yi Hsueh, Chun-Hway Lee, Sanboh |
公開日期: | 2011 | 起(迄)頁: | 1279-1284 | 來源出版物: | Journal of Materials Research | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/243750 | DOI: | 10.1557/jmr.2011.111 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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