https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/79209
標題: | 微型矽材之諧振式陀螺儀調質薄膜設計與製作 | 作者: | 吳裕隆 | 關鍵字: | 陀螺儀;微加工技術;陽極接合;薄膜振動;gyroscope;micromachining;membrane vibrating;anodic | 公開日期: | 2004 | 摘要: | 本文以微型矽材諧振式陀螺儀之製程設計與開發為研究主題,微型矽材諧振式陀螺儀其優點為體積小、重量輕、可大量製造降低成本、感測性高、低耗電率。 主要的目的是製造出其上含有質量塊的薄膜來作為振動結構,而此振動結構薄膜是處於懸浮的狀態,並以四邊形作為支撐結構支撐。此製程乃以矽晶片片與玻璃晶片以微機電加工技術製程加工,並以陽極接合技術接合晶片,其中矽晶片為薄膜振動結構,玻璃晶片作為支撐結構。 此外,製造過程中對於事前光罩設計的妥善分析與規劃,極為其重要性,因為以感測、分析與控制為終極目標的前提下,製程上圖案的設計必須符合感測之需求和限制為原則。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/62422 | 其他識別: | zh-TW |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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