https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/79818
標題: | A micrometer scale and low temperature PZT thick film MEMS process utilizing an aerosol deposition method | 作者: | Wang, Xuan-Yu Lee, Chi-Yuan Peng, Cheng-Jien Chen, Pei-Yen PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 2008 | 卷: | 143 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 469-474 | 來源出版物: | Sensors and Actuators A: Physical | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/106998 | DOI: | 10.1016/j.sna.2007.11.027 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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