https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/80476
標題: | The Effect of Patterned Susceptor on the Thickness Uniformity of Rapid Thermal Oxides | 作者: | Lee, Kuo-Chung Chang, Hong-Yuan Chang, Hong Hwu, Jenn-Gwo Wung, Tzong-Shyan |
公開日期: | 八月-1999 | 卷: | 12 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 340-344 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/107105 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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