https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/81531
標題: | Effect of Force Control Algorithms on the Scanning Probe Microscope Lithography System | 作者: | Yen, J. Y. Lin, I. M. Lee, C. K. |
公開日期: | 三月-2005 | 卷: | 76 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 036103-036103 | 來源出版物: | Review of Scientific Instruments | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/198161 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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