https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/99557
標題: | Age-based double EWMA controller and its application to CMP processes | 作者: | Chen, Argon Guo, R.-S. |
公開日期: | 二月-2001 | 卷: | 14 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 11-19 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/191622 |
顯示於: | 工商管理學系 |
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