國立臺灣大學電機工程學系暨研究所蔡坤諭2008-07-082018-07-062008-07-082018-07-062007-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/79053application/pdf1581845 bytesapplication/pdfen-US國立臺灣大學電機工程學系暨研究所適用32奈米以下製程之高產能、低成本平行寫入無光罩微影技術初步研究reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/79053/1/952218E002045.pdf