國立臺灣大學電子工程學研究所胡振國2006-07-262018-07-102006-07-262018-07-102002http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/19855zh-TW國立臺灣大學電子工程學研究所矽新型元件及模組技術研發(1/3)─子計畫一:超薄膜層氧化技術在矽元件之應用report