Fu, H.-Y.H.-Y.FuYen, Y.-K.Y.-K.YenHsieh, Y.-W.Y.-W.HsiehLiou, H.-R.H.-R.LiouWang, A.–B.,A.–B.,WangAN-BANG WANG2020-05-142020-05-142013https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/492578國立宜蘭大學, 宜蘭縣, Taiwan.精密平整度研磨機之製作與研磨精度探討,conference paper