2010-08-01
2024-05-18
https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/701199
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫一：應用於極紫外光平行直寫微影之光源相關技術的理論研究和實驗設計