國立臺灣大學機械工程學系暨研究所范光照2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281996http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15158zh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所高精密機械定位平台─半導體設備平台研究--子計畫二：系統機構及六自由度位置誤差量測report