國立臺灣大學機械工程學系暨研究所周元昉2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282000http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15694本計畫研發一套可以定量進行微尺度單 晶矽疲勞試驗的方法。疲勞試片為300 mm 長 的單晶矽懸臂樑，懸臂樑的軸向為<110>，樑 的自由端以一個銅片與PVDF 的荷重元量測 外力，如此可以獲得在固定端的應力。試片 係在(100)晶片上以微加工技術製成，荷重元 以傳統加工方式製成。經此系統實際測試， 當應力振幅為1.35GPa、應力比R=0 時，試 片之疲勞壽命達到107 數量級。application/pdf410423 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所疲勞微加工單晶矽reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15694/1/892212E002085.pdf