張培仁張培仁李其源吳政忠陳永裕鮑世勇鄭英周陳炳煇顏凱翔2019-06-262019-06-262004https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/411556濕蝕刻壓電材料之厚度即時監控方法patent中華民國專利 發明第 206714號