國立臺灣大學機械工程學系暨研究所張所鋐2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282000http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15423zh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所奈米級三次元量測儀研製(2/3)─子計畫三：超精密長距離致動機構研製report