2016-08-012024-05-18https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/708207先進大氣電漿輔助化學氣相鍍膜系統的研發-子計畫四：噴射式大氣電漿鍍製大面積氧化鋅薄膜之阻值均勻度分析與改善