國立臺灣大學機械工程學系暨研究所顏家鈺2008-07-042018-06-282008-07-042018-06-282007-10-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/77723en-US國立臺灣大學機械工程學系暨研究所多電子束平行掃瞄微影系統設計－總計畫：多電子束平行掃瞄微影系統設計　（新制多年期第1年）report