國立臺灣大學電機工程學系暨研究所劉致為2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-062001-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7810application/pdf1760273 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所具網路結合功能之半導體製造集結式機台─子計畫二：用於12吋晶圓製造之前段製程技術(3/3)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/7810/1/892218E002054.pdf