2004-08-012024-05-17https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/694535摘要：具有錐杯型的微細孔因其斜錐面可同時提供軸向與徑向力，具有集中收束的功能， 目前廣泛地被使用在很多高精密微細加工的高附加價值產品，例如噴墨印表機的噴嘴、 燃料引擎霧化噴頭、高密度超音波網孔霧化器、微流場分析用噴嘴（<10μm）、IC 封裝鋼 嘴、各式的微小射出成型模具、金屬線的擠伸眼模以及化學纖維的紡口（Spinneret） 等等。而未來應用在微組裝方面與微機械技術領域將日益廣泛，其製造技術與加工品質 也將倍受重視。不僅其加工尺寸精度與幾何形狀精度被要求在數μm 以內，其表面粗度更 要求在sub-μm 的似鏡面程度，因此其加工困難度相當高。目前微細錐形孔的高精密加 工仍較少見。 放電加工技術具有不受材料硬度、強度及韌性的影響，且可應用於薄長、精細且形 狀複雜或難切削材料的加工的優點。也可以在同一台機台上完成不同加工步驟、不同加 工製程，解決了微細加工常面臨的夾持與定位檢知的問題。對於高形狀精度要求的錐形 孔且又因是封閉型的凹孔，電極消耗絕對是一關鍵性的問題。由於尺寸效應將使微細電 極的消耗相當嚴重，而且封閉凹型元件的加工不易排屑，此對加工與形狀精度非常不 利。本微放電加工錐杯型電極消耗製程規畫micro-EDMconical micropartselectrode wearprocess planning