陳文章2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-281999http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9009zh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所深次微米半導體化學機械研磨技術研究─子計畫七：低介電常數高分子介電膜(HSQ,MSQ及PAE-2)之化學機械研磨特性研究report