戴怡德2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282001http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9258application/pdf267168 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學化學工程學系暨研究所深次微米半導體化學機械研磨技術之研究─總計畫(2/2)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/9258/1/892214E002048.pdf