國立臺灣大學電機工程學系暨研究所陳永耀2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-061997http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7266zh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所雙軸超高精度磁浮定位機構之驅動、量測與設計─子計畫三：高精度量測技術研發 (Ⅰ)report