陳正剛2006-07-252018-06-292006-07-252018-06-292005http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/4162zh-TW國立臺灣大學工業工程學研究所12吋晶圓製造服務佳化工具與標竿環境之研發─子計畫五:多步程製造系統演進最佳化方法及應用於晶圓廠良率提昇之研究(2/3)report