邱文英2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282001http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/12283zh-TW國立臺灣大學材料科學與工程學研究所由石化原料製備深次微米IC工業特用化學品(III)─子計畫六：低介電常數聚醯亞胺之IC化學機械研磨液開發report