國立臺灣大學電機工程學系暨研究所呂學士2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-062002-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7892application/pdf912183 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所微機電微波元件之研究之子計劃一 三五族微機電技術研發及應用reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/7892/1/902218E002035.pdf