薛文証臺灣大學：工程科學及海洋工程學研究所楊坤松Yang, Kun-SungKun-SungYang2007-11-262018-06-282007-11-262018-06-282005http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/51066本論文主要主題為研究TSM之特性，目的在建立一組TSM共振器分析模式，以供日後相關設計研發上的參考及應用。 目前模擬TSM共振器，尤其是QCM之模式主要為TLM、BVD或EBVD等效電路。在本文中我們利用一種新的分析模式-TWSF，此模式不但能夠找出各參數之間的關係，並且利用此模式所建立的TSM分析方法，非常便利。利用此方法可找出駐波相位差角度，利用相位差與負載物之阻抗，就能夠簡單計算出共振頻率的飄移與導納響應大小值。在本文中並利用此方法推導並簡化出QCM受馬克斯威廉流體、黏彈性液體負載之頻率飄移、導納響應大小之公式。The main subject of this thesis is to study the characteristic of TSM and to set up an analyzing model of TSM resonator for design and applications. At present, TLM, BVD or EBVD equivalent circuit have been applied on TSM resonator, especially for QCM. We utilize a kind of new analytic way-TWSF in this article. This method is need to find out the correlation between each parameter, for more accurate and convenient. Utilizing this analytic way standing shear wave phase angle shift can be calculated. The shift of resonant frequency and admittance response can also be calculated by the phase shift and loading impedance. In addition, this model is used to derive the formulas of frequency shift and admittance while the loading are the Maxwellian fluid or the viscoelastic fluid.目 錄 摘要………………………………………….….………………………...I 英文摘要…………………………………….….……………………….II 目錄……………………………………………….….…………………III 表目錄……………...…………………………….….………………….VI 圖目錄…………………………………………….….……………..VII 符號表…………………………………………….….………………X 第一章 緒論……………………………………………………………..1 1-1 研究背景與動機………………………………………………..1 1-2 文獻探討………………………………………………………..3 1-3 論文組織………………………………………………………..6 第二章 TSM振盪器感測原理………………………………...…………8 2-1 壓電本構方程式……………………………………………..…8 2-2石英晶體……………………………………………………….10 2-3 等效電路………………………………………………………12 2-3-1 一維平板之等效電路……………………………………12 2-3-2壓電平板之等效電路………………………………….…14 2-3-3 TLM等效電路………………………………………….…17 2-3-4 BVD等效電路………………………………………….…18 2-4 QCM表面質量效應……………………………………….……21 2-4-1具負載之共振頻率……………………………….………21 2-4-2理想質量層頻率飄移…………………………………….23 2-4-3牛頓流體液體頻率飄移…………………………….……24 第三章 TWSF模式分析……………………………………………...…26 3-1 TWSF模式…………………………………………………..….27 3-2 TWSF模式分析與簡化………..……......………………...…..30 3-2-1 QCM之剪力波與相位………….…………………………32 3-2-2 TWSF模式之簡化……………...…………………………33 3-3 QCM模式負載效應…………………….………………………34 3-3-1無質量負載………………………………………….……34 3-3-2 理想質量層負載……………………..……………..……35 3-3-3 半無窮域流體負載…………………..……………..……36 第四章 模擬分析與比較………………………………………………41 4-1無負載響應………………………………………………….…41 4-2理想質量負載響應………………………………………….…42 4-3 半無窮域流體負載時響應……………………………………43 4-3-1牛頓流體………………………………………….………43 4-3-2 黏滯、彈性流體…………………………………………43 第五章 結論與展望……………………………………………………47 5.1 結論……………………………………………………………48 5-2 未來展望……..………………………………….….……….…49829851 bytesapplication/pdfen-US壓電晶體生物感測器石英晶體微天秤等效電路QCMbiosensorTSMthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/51066/1/ntu-94-R90525048-1.pdf