國立臺灣大學應用力學研究所楊照彥2006-07-262018-06-292006-07-262018-06-291999http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21448zh-TW國立臺灣大學應用力學研究所半導體關鍵設備研發(III)─子計畫三：半導體電漿製程之模擬與研製report