國立臺灣大學應用力學研究所張培仁2006-07-262018-06-292006-07-262018-06-291999-10-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21558application/pdf526936 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學應用力學研究所電容式半導體加速計技術之整合技術(三)-總計畫The Study of Capacitive Semiconductor Micro-Accelerometerreporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/21558/1/882218E002015.pdf