國立臺灣大學機械工程學系暨研究所張所鋐2006-07-252018-06-282006-07-252018-06-282000http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15737application/pdf440240 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學機械工程學系暨研究所微機電技術壓電薄膜致動器/感測器之最佳化設計研究reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15737/1/892218E002022.pdf