曹培熙臺灣大學：物理研究所林君岳Lin, Chun-YuehChun-YuehLin2007-11-262018-06-282007-11-262018-06-282006http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/54609本論文中主要的工作，是利用AES (Auger Electron Spectroscopy)、TPD (Temperature Programmed Desorption)等表面科學方法，來研究金(Au)吸附在鎳鋁合金(100)表面後，經由退火(Annealing)處理，產生的擴散(Diffusion)，熱脫附(Thermo Desorption)之現象。本研究中的AES量測，運用了本實驗室所開發的gating技術，改良了傳統AES方法，使我們可以在運用程式控溫加熱的過程中，同時進行AES之量測，此實驗方法我們稱之為”程式控溫Auger電子能譜(Temperature Programmed Auger Spectra)”，簡稱為TPA。藉由控溫量測Auger電子之訊號強度變化，我們發現金在鎳鋁合金(100)表面上，當溫度升高到超過1000K之後，金的AES訊號強度會大幅下降中，此時再降溫到800K，金AES訊號又會慢慢回升到某一程度之後維持住。於是，我們進行了一系列的TPA實驗，以了解金在鎳鋁合金(100)表面上加熱後的表面擴散(Surface Diffusion)、塊材內部擴散(Bulk Diffusion)、表面重新覆蓋(Surface Segregation)等行為。同時，我們也運用了一些線性代數的數學運算，對Auger能譜進行分析，使我們可以得到更細微的資訊。摘要.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..1 目錄.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..2 1. 簡介.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..4 參考資料 .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..8 2. 實驗儀器與分析工具 .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..9 2.1 超高真空系統與分析工具.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..9 2.2 程式控溫熱脫附 (TPD).. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..11 2.3 程式控溫Auger電子能譜 (TPA) .. .. .. .. .. .. .. .. ..13 參考資料 .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..16 3. 線性代數分析.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..17 3.1 向量空間之自由度.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..17 3.2 以Auger能譜為基底之展開式.. .. .. .. .. .. .. .. .. ..21 4. 實驗程序.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..23 4.1 TPD實驗.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..23 4.2 AES與TPA實驗.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..24 5. 結果與討論.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..27 5.1 金在鎳鋁合金(100)表面的熱脫附現象.. .. .. .. .. .. ..27 5.2 程式控溫Auger電子能譜(TPA).. .. .. .. .. .. .. .. ..30 5.3 Auger訊號的分解.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..42 參考資料.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..54 6. 結論.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..55 7. 附錄.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..56 7.1 金/鎳鋁合金(100).. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..56 7.2 銀/鎳鋁合金(100)&銀/氧/鎳鋁合金(100) .. .. .. .. .. 62 誌謝.. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..662794519 bytesapplication/pdfen-US金擴散重新覆蓋鎳鋁合金AusegregationdiffusionNiAlthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/54609/1/ntu-95-R93222025-1.pdf