2021-05-012024-05-16https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/669328A尺度結構與能譜檢測技術開發：電子與光子顯微術前沿-A尺度高速掃描穿透式電子顯微能譜分析：突破半導體製程環境雜訊障礙(1/2)