王富正謝錦輝蔡彥臣2013-02-062018-06-282013-02-062018-06-282011http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/246699en-US以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發, 子計畫五：極紫外光直寫微影系統之伺服控制conference paper