國立臺灣大學電機工程學系暨研究所劉致為2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-061999http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7470zh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所半導體關鍵設備研發(III)─子計畫二：0.35UM或更高技術之單晶圓化學氣相沉積反應器report