2019-01-012024-05-18https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/700285摘要：精密光學量測系統的優勢包含即時量測並且無感測器貼附之質量效應的影響，在先進量測技術中屬於高準確性、高解析度的關鍵研究技術，本子計畫的研究目的為基於微致動與微感測之壓電元件，將開發全域式的電子斑點全像干涉量測技術，使之在靜態與動態（含穩態與暫態）的結構組件之三維變形皆可獲得準確的全場位移資訊。本光學全域量測系統的開發，可廣泛的應用於傳統結構強度之應力應變量測的基礎科學研究領域，並可深入新型材料機械特性之創新學術研究主題，對於高產值產業開發高精密度、高品質的系統，如自動化工業機器人、藥用霧化噴霧元件、寬頻響應聲學系統等，依本計畫所建置之精密量測系統皆可提升學術與產業升級的效果與目的。壓電元件電子斑點干涉術應力量測雷射都卜勒振動儀Piezoelectric deviceElectronic Speckle Pattern InterferometryStress MeasurementLaser Doppler Vibrometer