國立臺灣大學電機工程學系暨研究所陳永耀2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-061999-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7700application/pdf385431 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所雙軸超高精度磁浮定位機構之驅動量測與設計─子計畫三:高精密度量測與平台運動控制(3)reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/7700/1/882213E002085.pdf