2005-08-012024-05-18https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/710980電化學/電漿技術整合與微型化應用之研究(Ⅱ)(Ⅲ)-子計畫五：反應式電子槍蒸鍍/濺鍍整合技術於奈米複合薄膜之應用(2/2)