詹國禎教授臺灣大學：電機工程學研究所毛正心Mao, Cheng-HsinCheng-HsinMao2007-11-262018-07-062007-11-262018-07-062004http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/53329中文摘要 本研究係以毛細管電泳法之觀念為基礎，並配合微機電製程技術，以PMMA高分子材料設計及製作不同長短、寬度之十字形微流道。並以實驗室自行設計製作電性量測系統，將在PMMA晶片上微流道中DNA的毛細管電泳運動作電性的量測，作為DNA電學特性的探討。 DNA在毛細管電泳的方法，是在PMMA晶片上製作的十字形微流道進行的，十字形微流道製作是採最近盛行的PMMA晶片的微機電製程，製作成寬度約180 µm深度約35 µm以及寬度約300 µm深度約35 µm的兩個不同寬度的十字形微流道。DNA經由PIPET將微量體積的DNA滴入微流道中，再經外加電壓在微流道上使DNA進行毛細管電泳運動，並同時經量測系統量測DNA的電性。 電性的量測系統，是由實驗室自行設計製作實驗用之量測平臺，可經由外接電壓至四組測試端連結4D可調控轉動軸的測試鎢針，接觸到置於平臺中央的微流道晶片，滴入超純水及DNA溶液即可開始量測DNA的I-V以及I-T電性特性。因為DNA在同一片段於不同的外加電壓驅動下，以及在相同電壓下不同的DNA片段長度，會有不同的結果，因此將DNA實際進行片段分離運動機制的探討及驗證。Abstract This study is bases on capillary electrophoresis method and incorporated with the technique of MEMS to design and fabricate several kind different dimensions micro-fluidic for polymer material; We design and fabricate a electrical measurement system by ourselves. We loaded DNA in the micro-fluidic on the PMMA for capillary electrophoresis and did electrical measurement, for realization the electrical characterization about DNA. The capillary electrophoresis method for DNA is processing in the cross type micro-fluidic on the PMMA. The cross type micro-fluidic is using the technique of MEMS to fabricate PMMA chip, about 150 µm width 35 µm depth and 300 µm width 35 µm depth two different size cross micro-fluidic. We loaded a small amount of DNA solution into the micro-fluidic. We applied voltage in the micro-fluidic from end to end for DNA do capillary electrophoresis to measurement DNA electrical characterization. The measurement plate was designed and fabricated by ourselves for the electrical characterization measurement. It’s can through four test terminal connect to 4D controllable and movable test tungsten needle, to contact micro-fluidic on the PMMA chip in the plate central. We loaded into DD water and DNA aqueous solution into micro-fluidic for measurement I-V and I-T electrical characterization. Because of the DNA at same mer under different supply voltage and the DNA at different mer under same supply voltage will be different result. According to these results to discover and prove the distinct divergences in different DNA molecular.內容 誌謝….…………………………………………………………………i 中文摘要………………………………………………………………ii 英文摘要………………………………………………………………iii 內容….…………………………………………………………………v 圖目錄索引……………………………………………………………vi 表目錄索引……………………………………………………………vii 第一章 引言……………………………………………………………1 1-1研究背景………………………………………………………1 1-2研究動機………………………………………………………7 1-3研究目的………………………………………………………9 1-4 論文架構……………………………………………………10 第二章 毛細管電泳的方法在DNA上的應用………………………11 2-1毛細管電泳原理………………………………………………11 2-2毛細管電泳之用途……………………………………………16 2-3電性量測系統…………………………………………………18 第三章 微流道晶片的製作原理與結果……………………………21 3-1 LIGA製程…………………………………………………22 v 3-1-1 LIGA製程技術…………………………………22 3-1-2 基材準備與光阻層製程………………………………23 3-1-3光阻的製作………………………………………………24 3-1-4 X光光罩…………………………………………………25 3-1-5 X光深刻術………………………………………………27 3-1-6 微電鑄方法……………………………………………27 3-2 LIGA-like 製程……………………………………………28 3-2-1 光罩的設計與製作……………………………………28 3-2-2 微流道製程……………………………………………32 3-2-3 光刻製程與微電鑄法…………………………………34 第四章 量測DNA的實驗結果與討論……………………………….39 4-1 電性量測設備及儀具………………………………………40 4-1-1電性量測設備……………………………………………40 4-1-2電性量測儀具……………………………………………40 4-2 實驗樣品及器材……………………………………………41 4-2-1實驗樣品…………………………………………………41 4-2-2實驗器材…………………………………………………41 4-3 微流道中生物樣品毛細管電泳的電流暫態響應量測……..42 4-3-1 PMMA微流道中超純水樣品的量測…………………42 4-3-2 PMMA微流道中DNA(三磷核苷酸)樣品的量測……44 第五章 結論與未來展望………………………………………………52 參考文獻………………………………………………………………55970438 bytesapplication/pdfen-US晶片電性量測法微流道PMMAMicrofluidicsDNAthesishttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/53329/1/ntu-93-P91921009-1.pdf