國立臺灣大學機械工程學系暨研究所王富正2008-07-042018-06-282008-07-042018-06-282008-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/77705en-US國立臺灣大學機械工程學系暨研究所多電子束平行掃瞄微影系統設計－子計畫五：多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制　（新制多年期第1年）report