國立臺灣大學電機工程學系暨研究所呂學士2006-07-252018-07-062006-07-252018-07-062001-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7809application/pdf265596 bytesapplication/pdfzh-TW國立臺灣大學電機工程學系暨研究所微機電微波元件之研究子計畫(2):三五族微機電技術研發及應用reporthttp://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/7809/1/892218E002046.pdf