國立臺灣大學化學工程學系暨研究所徐振哲2008-07-042018-06-282008-07-042018-06-282007-07-31http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/76606en-US國立臺灣大學化學工程學系暨研究所低壓電漿製程之分析report